1、廢氣收集 
  在保證集氣和排風效果的基礎上，集氣罩的配置應與生產工藝協調一致，盡量不影響工藝操作。同時盡量減少排風量，以減輕吸附裝置的負擔。
2、 預處理 
  吸附法對廢氣中的粉塵、氣溶膠和一些引起分子篩中毒的物質要求嚴格，在廢氣進入吸附器之前必須將粉塵、漆霧處理干凈，并對氣溶膠進行破壞。預處理設備應根據廢氣的成分、性質和影響吸附過程的物質及含量進行選擇。
3 、吸附裝置 
  選擇合適的分子篩，在分子篩選定后，分子篩用量應根據一個吸附周期內吸附床層的動態吸附量確定。
吸附器的凈化效率應不低于90%，同時裝置出口污染物的排放濃度應低于國家、地方和行業相關排放標準的要求。吸附器的壓力損失宜低于4kPa。
4、催化燃燒裝置
  催化劑的工作溫度應低于700℃，并能承受900℃短時間高溫沖擊。設計工況應大于8500h。催化燃燒裝置的空速宜大于10000h^-1，但不應高于4000h^-1。
  進入燃燒室的氣體溫度應達到氣體組分催化劑上的引燃溫度，混合氣體按照引燃溫度最高組分確定。催化燃燒裝置的壓力損失應低于2kPa。治理后產生的高溫煙氣宜進行熱能回收。
5、 脫附 
  利用熱氣流脫附時，嚴格控制進入吸附器的熱氣流的溫度，吸附器尾氣中的有機物濃度不能超過其爆炸極限下限的25%濃度限制，不能有造成爆炸的危險。   
6、 催化燃燒后處理
  經過催化燃燒后產生的高溫煙氣的余熱。在大多數情況下是用于吸附器的再生，降低設備的運行費用，也可以用于余熱鍋爐或引入生產工藝中。利用高溫煙氣的余熱對吸附器進行再生的方式有兩種：一是通過冷風機在高溫煙氣中補充部分新鮮空氣，使煙氣溫度降到分子篩再生所需要的溫度后直接引入吸附器進行分子篩的再生。二是增加一個氣-氣換熱器，利用高溫煙氣加熱新鮮空氣至分子篩脫附所需要的溫度后引入吸附器進行分子篩的脫附。